氦檢漏的核心原理是通過氦氣作為示蹤氣體，利用質(zhì)譜分析技術(shù)檢測(cè)其泄漏信號(hào)，從而定位漏點(diǎn)并量化泄漏程度?。具體流程如下：?

?示蹤氣體選擇?

氦氣因分子量小、擴(kuò)散快、惰性強(qiáng)、本底濃度低等特性，成為理想的示蹤氣體。

?泄漏信號(hào)檢測(cè)?

?離子化?：泄漏的氦氣進(jìn)入質(zhì)譜儀后，被電子束轟擊形成氦離子。

?加速與分離?：離子在電磁場(chǎng)中加速，通過磁場(chǎng)偏轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)質(zhì)量篩選，僅氦離子（特定質(zhì)荷比）能到達(dá)檢測(cè)器。

?信號(hào)轉(zhuǎn)化?：氦離子產(chǎn)生的微電流經(jīng)放大處理，轉(zhuǎn)化為可識(shí)別的漏率信號(hào)，與泄漏量成正比。

?檢測(cè)模式?

?真空檢漏?（負(fù)壓）：向密封腔體外噴射氦氣，檢測(cè)內(nèi)部是否出現(xiàn)氦信號(hào)。

?正壓檢漏?：向被測(cè)件內(nèi)部充氦，外部用探頭檢測(cè)泄漏。

?背壓法?：將被測(cè)件置于高壓氦環(huán)境，通過真空抽吸釋放內(nèi)部吸附的氦氣進(jìn)行檢測(cè)。

該技術(shù)廣泛應(yīng)用于真空鍍膜機(jī)、半導(dǎo)體外延設(shè)備、航天器密封艙等高精度場(chǎng)景